Tionscadal Chip MBE a Críochnaíodh sna Blianta a chuaigh thart

Teicneolaíocht

Is teicníocht nua é epitaxy bíoma mhóilíneach, nó MBE, chun scannáin tanaí ardcháilíochta criostail a fhás ar fhoshraitheanna criostail. I bhfolús ultra-ard coinníollacha, ag an sorn teasa atá feistithe le gach cineál na comhpháirteanna is gá agus gaile a ghiniúint, trí phoill déanta tar éis collimating bhíoma bhíoma adamhach nó mhóilíneach, instealladh díreach chuig an teocht chuí an tsubstráit criostail aonair, a rialú bhíoma mhóilíneach a scanadh an tsubstráit ag an am céanna, is féidir leis na móilíní nó na hadaimh a dhéanamh i sraitheanna ailínithe criostail chun scannán tanaí a dhéanamh ar "fás" tsubstráit.

Le haghaidh gnáthoibriú trealaimh MBE, is gá ard-íonacht, brú íseal agus nítrigin leachtach ultra-ghlan a iompar go leanúnach agus go cobhsaí chuig seomra fuaraithe an trealaimh. Go ginearálta, tá brú aschuir idir 0.3MPa agus 0.8MPa ag umar a sholáthraíonn nítrigin leachtach. Déantar nítrigin leachtach ag -196 ℃ a ghalú go héasca go nítrigin le linn iompair píblíne. Nuair a bheidh an nítrigin leachtach le cóimheas gáis-leachtach de thart ar 1:700 gásaithe sa phíblíne, áiteoidh sé cuid mhór de spás sreabhadh nítrigine leachtach agus laghdóidh sé an gnáthshreabhadh ag deireadh an phíblíne nítrigine leachtach. Ina theannta sin, sa umar stórála nítrigine leachtach, is dócha go mbeidh smionagar ann nach bhfuil glanta. Sa phíblíne nítrigine leachtach, beidh giniúint slaig oighir mar thoradh ar aer fliuch a bheith ann freisin. Má scaoiltear na neamhíonachtaí seo isteach sa trealamh, déanfaidh sé damáiste dothuartha don trealamh.

Dá bhrí sin, iompraítear an nítrigin leachtach san umar stórála lasmuigh chuig an trealamh MBE sa cheardlann saor ó dheannach le héifeachtacht ard, cobhsaíocht agus glan, agus an brú íseal, gan nítrigin, gan eisíontais, 24 uair an chloig gan bhriseadh, tá córas rialaithe iompair den sórt sin. táirge cáilithe.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Trealamh MBE a mheaitseáil

Ó 2005, tá HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ag uasmhéadú agus ag feabhsú an chórais seo agus ag comhoibriú le monaróirí trealaimh MBE idirnáisiúnta. Tá caidreamh comhoibríoch ag monaróirí trealaimh MBE, lena n-áirítear DCA, REBER, lenár gcuideachta. Chomhoibrigh monaróirí trealaimh MBE, lena n-áirítear DCA agus REBER, i líon mór tionscadal.

Is soláthraí domhanda tosaigh é Riber SA de tháirgí epitaxy beam móilíneach (MBE) agus seirbhísí gaolmhara le haghaidh taighde leathsheoltóra cumaisc agus feidhmeanna tionsclaíocha. Is féidir leis an ngléas Riber MBE sraitheanna an-tanaí ábhar a thaisceadh ar an tsubstráit, le rialuithe an-ard. Tá trealamh bhfolús Trealamh Crióigineach HL (HL CRYO) feistithe le Riber SA Is é an trealamh is mó Riber 6000 agus is é Compact 21 an ceann is lú. Tá sé i riocht maith agus tá sé aitheanta ag custaiméirí.

Is é DCA an MBE ocsaíd is mó ar domhan. Ó 1993 i leith, rinneadh forbairt chórasach ar theicnící ocsaídiúcháin, téamh substráit frithocsaídeach agus foinsí frithocsaídeacha. Ar an gcúis seo, roghnaigh go leor saotharlanna tosaigh teicneolaíocht ocsaíd DCA. Úsáidtear córais MBE leathsheoltóra ilchodacha ar fud an domhain. Tá an taithí mheaitseála ag córas imshruthaithe nítrigine leachtach VJ de Threalamh Crióigineach HL (HL CRYO) agus trealamh MBE de mhúnlaí iolracha DCA i go leor tionscadal, mar shampla an tsamhail P600, R450, SGC800 etc.

tcm (2)

Tábla Feidhmíochta

Institiúid na Fisice Teicniúla Shanghai, Acadamh Eolaíochtaí na Síne
An 11ú Institiúid na Síne Leictreonaic Teicneolaíochta Corporation
Institiúid na Leathsheoltóirí, Acadamh Eolaíochtaí na Síne
Huawei
Acadamh DAMO Alibaba
Tá Powertech Technology Inc.
Tá Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Am postála: Bealtaine-26-2021

Fág Do Theachtaireacht